株式会社パンソリューションテクノロジーズ

Product

プロダクト

スポットタイプ
VWECER-2000
ウェハ品質の保証 欠陥密度やドーパント濃度を反映した測定結果
ウェハの表面及び内部の品質を正確に測定
ウェハ開発効率の改善 ウェハスライス、研磨直後の品質評価により、短いサイクルで品質情報のフィードバック取得可能
不良率の改善 不良ウェハの早期発見、排除により歩留まり改善
ウェハ調達先選定の際の評価にも最適

VWECER-2000
装置概要
●寸法 W:900 × D:900 × H:700 mm
●重量 約 50 ㎏
●電源 単相 AC 90～240 V
●動作環境 温湿度 25±5℃・≦ 85％RH
測定性能
●測定時間 1ポイント 10秒以下
●測定方式 プローブ接触式
●試料寸法 ～12 inch
●試料抵抗率 ～20.0 Ω・cm
●測定対象 p/n 型 単結晶
測定結果（イメージ）

全数検査用インラインタイプ
  • 量産ラインに接続することにより、全数検査に対応できるモデルです。
  • 同時に測定するウェハの枚数をカスタマイズすることにより、検査時間の短縮も可能です。

※受注生産

装置概要
●寸法 W:2000 × D:1500 × H:1500 mm
●重量 約 500 ㎏
●電源 単相 AC 100～230 V
●動作環境 温湿度 25±5℃・≦ 85％RH
測定性能
●測定時間 1 sec / 枚
●測定方式 プローブ接触式
●試料寸法 ～12 inch
●試料抵抗率 ～20.0 Ω・cm
●測定対象 p/n 型 単結晶