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応用物理学会にてHS-CMR法についての発表が行われました。

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この度、第68回応用物理学会春季学術講演会(2021年3月16日~19日開催)にて、
山梨大学クリスタル科学研究センターの原助教授より、
「電流変調抵抗率測定におけるSiウェーハ表面ダメージの影響」と題して、
弊社の測定技術である「HS-CMR法」についての発表が行われました。