プロダクト

●スタンドアロンタイプ

・カセットにより156mm角ウェハを25枚セットできるモデルです。
・コンパクトなボディで研究室内でも使用することができます。
スタンドアロン本体

■設備諸元
寸法: W0.9×H0.9×D0.6 m
重量: 約100Kg
電源: 単相AC100~230V
使用環境: 温湿度 25±5℃・≦85%RH
■測定性能
最大収容枚数: 25枚(カセット式・連続測定可能)
測定時間: 10sec/枚
測定方式: プローブ接触式
測定対象: 156×t0.05~0.5㎜
測定範囲: 0.1~10.0Ω・cm

●全数検査用インラインタイプ(予定)

・量産ラインに接続することにより、全数検査に対応できるモデルです。
・同時に測定するウェハの枚数をカスタマイズすることにより、検査時間の短縮も可能です。
※設計中

■設備諸元
寸法: W2.0×H1.5×D1.5 m
重量: 約500㎏
電源 単相AC100~230V
使用環境 温湿度 25±5℃・≦85%RH
■測定性能
測定時間 1sec/枚
測定方式: プローブ接触式
測定対象: 156×t0.05~0.5㎜
測定範囲: 0.1~10.0Ω・cm