プロダクト

有効キャリア測定装置

ー 新しい品質評価法が歩留まりを上げる ー

新技術「HS-CMR 法」による品質測定

本装置は、東北大学金属材料研究所で開発された新技術「HS-CMR 法」(High Speed – Current Modulating Resistivity method)に
より、シリコンウェハーの結晶の品質を測定します。
シリコンウェハー内における太陽電池としてのエネルギー変換効率に関係する全ての要素(電子、ホール、欠陥、不純物等)を
包括して測定を行い、発電に寄与する電子の数(有効キャリア数)を一つのパラメーターで正確に測定することができます。

ウェハーの段階で変換効率を測定・選別

本装置での測定結果は、シリコンウェハーを太陽電池化した際の変換効率と直接的な関係があります。
目視では確認できないシリコンウェハーの太陽電池としての性能を、「ポテンシャル変換効率」として測定することができます。
ポテンシャル変換効率の低いウェハーをセルにすることなく選別できるので、製造コスト低減に効果があります。

変換効率向上への新たな指標

これまで正確に測定することのできなかったウェハー内の有効キャリア数が明確になることで、
太陽電池として最も重要な技術の一つである、pn接合技術の改善に役立てることができます。
各ウェハーが持つ有効キャリア数に対し、ドーパントの拡散量を調節することで、
生産される太陽電池全体の性能を引き上げることができます。

●スタンドアロンタイプ

・カセットにより156mm角ウェハを25枚セットできるモデルです。
・コンパクトなボディで研究室内でも使用することができます。
スタンドアロン本体

■設備諸元
寸法: W900×D900×H560mm
重量: 約150Kg
電源: 単相AC100~230V
使用環境: 温湿度 25±5℃・≦85%RH
■測定性能
最大収容枚数: 25枚(カセット式・連続測定可能)
測定時間: 10sec/枚
測定方式: プローブ接触式
測定対象寸法: □156×t0.05~0.5㎜
測定範囲: 0.1~10.0Ω・cm

●全数検査用インラインタイプ(予定)

・量産ラインに接続することにより、全数検査に対応できるモデルです。
・同時に測定するウェハの枚数をカスタマイズすることにより、検査時間の短縮も可能です。
※設計中

■設備諸元
寸法: W2000×D1500×H1500mm
重量: 約500㎏
電源: 単相AC100~230V
使用環境: 温湿度 25±5℃・≦85%RH
■測定性能
測定時間: 1sec/枚
測定方式: プローブ接触式
測定対象: □156×t0.05~0.5㎜
測定範囲: 0.1~10.0Ω・cm